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光電課堂26期丨怕震動影響實驗？隔振平臺到底多重要？

發(fā)布人： 發(fā)布時間：2025-09-24 文字： 大 中 小

直播時間：

9月26日上午10:00—11:00

主講老師：

卓立漢光機械工程師——阮景齡

報告題目：

光學平臺的隔振理論及應用

報告摘要：

當受到外界振源的激勵時，光學系統(tǒng)會產(chǎn)生強迫振動，過大的振動會導致設(shè)備部件發(fā)生相對位移，出現(xiàn)光路偏轉(zhuǎn)、采集的圖像信號模糊等，致使設(shè)備無法正常工作。

隔振光學平臺將地面?zhèn)鬟f來的振動和負載運動引起的振動進行實時衰減或隔離，從而保障負載不受振動的影響，順利的實現(xiàn)微米至納米量級的設(shè)定精度，因此被廣泛的應用于光學試驗、加工及測量中，典型應用為激光干涉儀系統(tǒng)、電鏡（原子力、隧道掃描等）、顯微鏡、極大規(guī)模集成電路制造裝備等。

本課程從振動及隔振理論切入，帶大家詳細了解隔振光學平臺的原理及選型。