六軸自動調(diào)芯系統(tǒng)
1.采用了豐富的標準指令方式，很容易創(chuàng)建或更改調(diào)芯程序；很容易實現(xiàn)工件變更時的程序更改。
2.如果外圍設(shè)備有GB-IB接口，可以通過運動控制程序?qū)崿F(xiàn)控制，和取得有關(guān)數(shù)據(jù)，并可以把取得的數(shù)據(jù)作為控制參數(shù)使用。(具體指令隨設(shè)備而定。)
3.理論分辨率小到10 nm。
六軸手動調(diào)芯系統(tǒng)
1.西格瑪光機擁有豐富的平臺種類，多種導(dǎo)軌方式，而且測微頭位置可選，所以可以根據(jù)不同用途，方便地構(gòu)建手動調(diào)芯系統(tǒng)。
2.采用全行程分辨率為0.5μm的精密測微頭可以方便地實現(xiàn)精密調(diào)芯。也可以選用您指定的測微頭類型。
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