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光電課堂26期丨怕震動(dòng)影響實(shí)驗(yàn)？隔振平臺(tái)到底多重要？

發(fā)布人： 發(fā)布時(shí)間：2025-09-24 文字： 大 中 小

直播時(shí)間：

9月26日上午10:00—11:00

主講老師：

卓立漢光機(jī)械工程師——阮景齡

報(bào)告題目：

光學(xué)平臺(tái)的隔振理論及應(yīng)用

報(bào)告摘要：

當(dāng)受到外界振源的激勵(lì)時(shí)，光學(xué)系統(tǒng)會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)迫振動(dòng)，過(guò)大的振動(dòng)會(huì)導(dǎo)致設(shè)備部件發(fā)生相對(duì)位移，出現(xiàn)光路偏轉(zhuǎn)、采集的圖像信號(hào)模糊等，致使設(shè)備無(wú)法正常工作。

隔振光學(xué)平臺(tái)將地面?zhèn)鬟f來(lái)的振動(dòng)和負(fù)載運(yùn)動(dòng)引起的振動(dòng)進(jìn)行實(shí)時(shí)衰減或隔離，從而保障負(fù)載不受振動(dòng)的影響，順利的實(shí)現(xiàn)微米至納米量級(jí)的設(shè)定精度，因此被廣泛的應(yīng)用于光學(xué)試驗(yàn)、加工及測(cè)量中，典型應(yīng)用為激光干涉儀系統(tǒng)、電鏡（原子力、隧道掃描等）、顯微鏡、極大規(guī)模集成電路制造裝備等。

本課程從振動(dòng)及隔振理論切入，帶大家詳細(xì)了解隔振光學(xué)平臺(tái)的原理及選型。